1. 진공이란?
진공(VACUUM)의 어원은 비어 있음(empty)을 의미하는 그리스어로부터 유래한다. 실제로는 공기중에 노출되어 있는 진공용기가 사용되므로 몇가지의 진공장치에 의해 공기가 제거되므로써 진공상태를 얻게 된다. 따라서 진공용기로부터 제거되는 공기양에 따라 진공의 정도가 결정된다. 현실적으로 전혀공기가 존재하지 않는 진공 용기를 얻는 것은 불가능하다. 만약 이것이 실현된다면 그러한 진공상태는 완전한 또는 절대적 진공으로 불릴 것이다.
2. 진공 펌프의 목적
어떤 용기에 있는 공기 분자를 펌프를 통해 배기시키는 것. 즉,용기내의 기체밀도를
소시키는 것이 펌프의 목적이고 기체밀도가 작을수록 좋은 진공이라 할수 있다.
3. 진공 상태로 얻어지는 효과
대략적으로 보면 타기체의 영향에 의한 부식 산화 등을 막아주고, 물질의 끊는 점을 낮추어 주고, 조기에 증발토록하며 타기구로는 운반하기 어려운 물체의 운반에 적합하고 표면이 깨끗하며 물체속에 기체를 제거하고 타 물질을 투입하는데 용이하다. 그리고 양자 등과 같은 하전입자 주위공기분자 충돌이 작아지므로 콘트롤이 용이하다.
- 깨끗한 환경 제공: 불순물, 산화물 제거 등
- 적절한 환경 제공: TV모니터, 입자 가속기 등 적정 진공도 필요
- 진공 특성 이용: 진공청소기, 진공 보온병 등
4. 진공 펌프의 선정
진공시스템을 임의 압력에서 요구되는 압력까지 필요로 하는 시간안에 끝마치기 위하여 필요한 펌프의 배기량을 선정하는 것이 중요하다. 진공 시스템의 조건이 배기시간에 현저한 영향을 미치므로 이 방법에서는 용기와 내용물에서 발생하는 가스의 양을 무시했을 경우이고 1Torr까지의 압력에 적용된다.
5. 진공 단위
표준 대기압: 0℃ 수은 760 mm, 4℃ 물 10.33 m
1 기압=760 mmHg=760 Torr=1013 mbar=1.0x105 Pa= 14.7 psi
1 mmHg=1 Torr=133 Pa = 4/3 mbar
1 Pa= 1 N/m2= 7.5 x 10-3 Torr
진공의 구분
압력(Torr)
응용 분야
저진공 (LV)
1 (대기압)
기계공학, 식품공학
중진공 (MV)
1 ~
전자공학, 광학 진공야금
고진공 (HV)
~
반도체, 레이저 광학
초고진공 (UHV)
~
반도체, 신소재, 가속기, 우주과학, 표면과학
극고진공 (XHV)
이하
우주과학, 차세대소자, 소립자연구
6. 진공의 구분과 응용 분야
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